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高端化學品及集成電路用電子化學品制造關鍵技術通過鑒定
2025/06/03


近日,北京化工大學等多家單位完成的“高端化學品及集成電路用電子化學品制造關鍵技術研究與應用”項目,在北京通過了中國石油和化學工業聯合會(簡稱“中國石化聯”)組織的科技成果鑒定。記者了解到,北京化工大學教授李群生帶領團隊針對國家戰略需求,研發了高端化學品及集成電路用電子化學品制造關鍵技術,并成功實現產業化應用,成為科技創新和產業創新深度融合的典型案例。

此次鑒定會上,由舒興田、屠海令(線上)、錢旭紅(線上)、鄭裕國(線上)、馮志海等5位中國工程院院士,以及中石油云南石化有限公司教授級高工張有林、中國中化控股有限公司教授級高工晉工、中國石化集團公司科技部首席科學家莊毅、清華大學教授呂陽成、北京化工研究院首席專家李東風、中國石油大學(北京)教授陳光進等共11位專家組成的鑒定委員會一致認為,該成果核心技術處于國際領先水平,同意通過鑒定,建議進一步推廣應用。北京化工大學副校長任鐘旗、中國石化聯科技與裝備部主任李永亮出席本次鑒定會并講話,鑒定會由中國石化聯科技與裝備部副處長曾春陽主持。

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據介紹,該項目在多個領域取得了一系列重大創新成果。根據鑒定意見,該項目建立了精餾塔內氣液兩相流的數學模型,研發了IP型高效填料和導向復合塔板,填料分離效率提高了37.5%~50%,塔板分離效率達到75%~85%;發明了反應除雜技術,利用紫外線光源將四氯化硅中極少量的三氯氫硅反應為四氯化硅,產品純度達到99.9999999%(9N級);開發了等離子反應合成技術,實現乙硅烷的定向合成,得到99.99999%(7N級)乙硅烷。

同時,該項目發明了精餾—連續多級逆流分布結晶技術,應用于對二氯苯-鄰二氯苯等分離,產品純度≥99.999%;開發了優化結構的雙載體吸附系統,與精餾及其他分離技術耦合,實現對雜質的深度脫除,生產出99.999999%(8N級)四氯硅烷;開發了高效抗雜質滲入技術,實現了電子化學品生產設備的超潔凈防護。其中,電子級氫氟酸單個金屬離子雜質含量降至5ppt以下,突破G5標準要求。

據悉,李群生團隊目前已取得獲授權的多項國內外發明專利,具有自主知識產權。

該項目不僅在科技創新方面屢獲突破,在產業化應用領域也收獲累累碩果。項目成果已在多家企業獲得廣泛應用,并生產出百余種產品,取得了顯著的經濟效益、社會效益和環境效益。

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據統計,近3年該項目技術應用累計節約蒸汽116萬噸、電耗47763萬千瓦時,節能折合標煤20.8萬噸,相當于減排二氧化碳51.8萬噸。“這是因為項目技術可以顯著降低化工分離過程的能源消耗與環境負荷。”李群生說,內蒙古雙欣高端醋酸乙烯生產應用該項目技術后,影響環境污染的醋酸甲酯等物質含量從0.04%~0.06%降低至150ppm以下,優于國際技術指標,同時回收大量醋酸甲酯,減輕了大氣污染。

談及未來,李群生表示,項目團隊將進一步深化智能化與綠色化創新,實現精餾過程動態優化與能量梯級利用;探索精餾耦合、生物基化學品分離等前沿領域,助力實現碳中和目標;深化稀土同位素、超高純材料制備技術,支撐航空航天、半導體等戰略產業發展。未來5年,項目技術應用將新增產值超400億元,帶動就業崗位1萬個,助力我國高端化學品自給率提升。

李群生同時表示,項目還將通過技術標準國際化與高質量共建“一帶一路”合作,推動中國方案在全球化工行業應用。“項目成果可通過技術許可、工程總包等方式向國外輸出。”他說,預計到2030年,項目技術出口將形成超10億元的年服務收入規模,推動我國化工技術標準成為國際標桿。

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